南京沃天PC90D單晶硅差壓傳感器是一種具有可靠過載壓力保護功能的差壓傳感器。

PC90D 單晶硅差壓傳感器差壓敏感核心采用了高性能的硅壓阻式差壓芯片，利用全焊接密封結(jié)構(gòu)進行組裝，并在高真空下充灌硅油，不同材質(zhì)的測量膜片在隔離被測介質(zhì)與差壓芯片的同時，還能使傳感器對各種強腐蝕性介質(zhì)的壓差信號進行長期可靠測量。 PC90D單晶硅差壓傳感器通過外部恒流或恒壓供電激勵能將被測的壓差信號轉(zhuǎn)換成與之線性正比的毫伏電壓信號。

一、 原理

               圖1 硅傳感器的結(jié)構(gòu)圖                                                                      圖2 加壓以后效果

南京沃天 PC90D 單晶硅差壓傳感器采用德國進口高穩(wěn)芯片

● 精度高

● 穩(wěn)定性好

● 耐靜壓

二、 結(jié)構(gòu)介紹

1 爆炸圖

2 基芯部件

三、優(yōu)點

1 過壓保護設(shè)計

如圖 所示，為克服單晶硅硅片抗過載能力不足的缺陷。該單向壓力過載保護差壓傳感器不僅能測出現(xiàn)場工況在額定壓力范圍內(nèi)的壓差值，而且在發(fā)生單向壓力過載的情況下還能有效地進行自我保護，避免了PC90D 單晶硅差壓傳感器 單向壓力過載而引起的損壞。

2量程比可調(diào)性能

表一  PCM3051S-DP差壓變送器的量程比性能試驗

結(jié)論：抽3只，量程比設(shè)置為10:1 和100:1 ，測試結(jié)果都能達到較高精度

3 壓力滯后性能

2 壓力滯后特性也稱回程誤差特性，俗稱回差，對于壓力、差壓變送器來說是一個較為重要的考核指標?；夭畹拇笮≈苯佑绊懙阶兯推鞯臏y量準確性 和長期漂移性能。

2 如圖4所示，這是一張典型的單晶硅誤差曲線和金屬電容誤差曲線的比較示意圖。從圖中可以看出，單晶硅原理傳感器的線性誤差曲線的回差極小，上行程和下行程幾乎重合，其回差基本可以忽略不計；而金屬電容式原理的線性誤差曲線的回差較大，上行程和下行程呈開口狀，直接影響到變送器的輸出精度 。

4 靜壓特性

南京沃天 PC90D 單晶硅差壓傳感器采用特殊 的單晶硅芯片封裝工藝，封裝以后其內(nèi)腔和外腔達到壓力平衡。如圖所示為PC90D單晶硅硅片的封裝示意圖，當有工作靜壓加載到測量硅片的正負腔時， 工作靜壓通過硅片外部的正腔硅油和硅片內(nèi)部的負腔硅油平衡加載到測量硅片上，并實現(xiàn)了相互抵消，從而使得測量硅片對工作靜壓的彎曲變形極小。這樣處理大幅提升了差壓變送器的靜壓影響性能。

三、差壓變送器核心部件

南京沃天科技股份有限公司成立于2005 年，專注生產(chǎn)壓力傳感器，是國內(nèi)重量級的壓力傳感器廠家，擁有擴散硅壓力傳感器的核心技術(shù)，現(xiàn)有員工 260名。南京沃天科技股份有限公司 年產(chǎn)擴散硅壓力傳感器150多萬只，產(chǎn)品出口70多個國家和地區(qū)。